Отличительные особенности MicroProf® FS
- мультисенсорная технология и гибридная метрология для МЭМС и ИС
- конфигурируемость для многих областей применения в производстве пластин
- стандартные и индивидуальные решения
- наивысшая гибкость
- обработка различных типов подложек
- высокопроизводительное ПО для автоматизированных 2D- и 3D-измерений
- оборудован модулем Front-End (EFEM)
microprof® FS
MicroProf® FS полностью автоматизированный измерительный прибор для пластин, разработанный для широкого спектра применений в производствах пластин или МЭМС содержащий как стандартные, так и индивидуальные решения. Благодаря исключительной многосторонности, MicroProf® FS – незаменимый мастер на все руки на новейших производствах. Это просто индустриальная «звезда»!
Двусторонние измерения (TTV)
Как настольные, так и стационарные системы серии MicroProf® включают опцию двустороннего контроля. Это позволяет одновременное измерение верхней и нижней сторон образца и определение его толщины. Также возможно определять полный разброс по толщине (TTV) образца одновременно с параметрами поверхностей, например, шероховатостью, волнистостью, плоскостностью обеих сторон. При необходимости приборы серии MicroProf® можно впоследствии легко дооснастить опцией TTV на месте.
