MicroProf®- прецизионная метрология поверхности

MicroProf® Серия

3D-метрология: быстро, гибко, точно и неразрушающе

Благодаря третьему поколению приборов серии MicroProf®, фирма ФРТ с мультисенсорной метрологией поверхности находится на вершине рынка. 

MicroProf® позволяет быстро, эффективно и интуитивно решать разнообразные измерительные задачи. Как утверждённый стандартный измерительный прибор в современной 3D-метрологии, MicroProf® уже много лет восхищает наших клиентов. Приборы применимы в таких разнообразных областях, как полупроводники, медицина, автоиндустрия. А также, в таких отраслях, как МЭМС/НАНО/МСТ, сапфир, фотовольтаика, машиностроение, оптика и производство упаковки.  

Желаете ли Вы бесконтактно измерить топографию, толщины слоя или образца, можно универсально применять приборы серии MicroProf® с уже отлично зарекомендовавшей себя мультисенсорной технологией. Различные оптические измерительные методы, применяемые повсеместно как индивидуальные решения, объединены в универсальный, компактный прибор. В зависимости от задачи, MicroProf® позволяет как сделать общий обзор, так и детальные измерения высокого разрешения, вплоть до субнанометрового диапазона. Это достигается произвольной комбинируемостью датчиков. Сохраняйте гибкость для дальнейших измерений, просто и быстро меняйте датчики, экономя время, место и деньги.

Скачать брошюру 

 

 

 

Основные моменты

  • Мультисенсорная технология
  • Гибридная метрология
  • Разрешение до субнанометровой области
  • Высокая надёжность и воспроизводимость
  • Измерение по DIN-EN-ISO, SEMI и другим стандартам
  • Ручной, полуавтоматический и автоматический режимы
  • Смена и добавление функций на месте и в любой момент