MicroProf® FE –специалист для применений в Front-End

Отличительные особенности MicroProf® FE

  • полностью автоматизированная 2D- и 3D- метрология поверхности для применений в транзисторном цикле (Front-End)
  • мультисенсорная технология на базе MicroProf® 300
  • специфические решения для поточного производства
  • модуль перемещения пластин
  • оборудован модулем Front-End (EFEM) 

Загрузить описание

Title

microprof® FE

MicroProf® FE – стандартизированный полностью автоматизированный прибор для 2D- / 3D- измерений пластин. С полностью  SEMI-совместимыми метрологически решениями и практически не требующими обслуживания компонентами,  MicroProf® FE – превосходная «рабочая лошадка» на каждом этапе транзисторного цикла (Front-End). Наряду со стандартной конфигурацией, прибор может быть оснащён многочисленными дополнительными функциями, устанавливаемыми при необходимости. Благодаря чему с MicroProf® FE можно быстро развиваться, идя в ногу с технологическими достижениями, при этом снижая инвестиционные затраты! 

Контакт

Title

Двусторонние измерения (TTV)

Как настольные, так и стационарные системы серии MicroProf® включают опцию двустороннего контроля.  Это позволяет одновременное измерение верхней и нижней сторон образца и определение его толщины.  Также возможно определять полный разброс по толщине (TTV) образца одновременно с параметрами поверхностей, например, шероховатостью, волнистостью, плоскостностью обеих сторон. При необходимости приборы серии MicroProf® можно впоследствии легко дооснастить опцией TTV на месте.