MicroProf® FE – стандартизированный полностью автоматизированный прибор для 2D- / 3D- измерений пластин. С полностью SEMI-совместимыми метрологически решениями и практически не требующими обслуживания компонентами, MicroProf® FE – превосходная «рабочая лошадка» на каждом этапе транзисторного цикла (Front-End). Наряду со стандартной конфигурацией, прибор может быть оснащён многочисленными дополнительными функциями, устанавливаемыми при необходимости. Благодаря чему с MicroProf® FE можно быстро развиваться, идя в ногу с технологическими достижениями, при этом снижая инвестиционные затраты!