MicroProf® FS – «мастер на все руки» для МЭМС и фаундри

Отличительные особенности MicroProf® FS

  • мультисенсорная технология и гибридная метрология для МЭМС и ИС
  • конфигурируемость для многих областей применения в производстве пластин
  • стандартные и индивидуальные решения
  • наивысшая гибкость
  • обработка различных типов подложек
  • высокопроизводительное ПО для автоматизированных 2D- и 3D-измерений
  • оборудован модулем Front-End (EFEM)
  • Загрузить описание

Title

microprof® FS

MicroProf® FS полностью автоматизированный измерительный прибор для пластин, разработанный для широкого спектра применений в производствах пластин или МЭМС содержащий как стандартные, так и индивидуальные решения. Благодаря исключительной многосторонности, MicroProf® FS – незаменимый мастер на все руки на новейших производствах. Это просто индустриальная «звезда»!   

Контакт

Title

Двусторонние измерения (TTV)

Как настольные, так и стационарные системы серии MicroProf® включают опцию двустороннего контроля.  Это позволяет одновременное измерение верхней и нижней сторон образца и определение его толщины.  Также возможно определять полный разброс по толщине (TTV) образца одновременно с параметрами поверхностей, например, шероховатостью, волнистостью, плоскостностью обеих сторон. При необходимости приборы серии MicroProf® можно впоследствии легко дооснастить опцией TTV на месте.