MicroProf ® MHU – Вы всегда знаете, кто сегодня подаёт!

Отличительные особенности MicroProf® MHU

  • автозагрузчик с двуруким роботом
  • высокая производительность, до 200 пластин в час
  • загрузочная станция для открытых кассет
  • оптический считыватель / предпозиционер
  • функция сортировки «плохой-хороший»
  • интерфейс SECS/GEM (опция)
  • Загрузить описание

Title

microprof® MHU

Для многих промышленных применений необходимо проведение полностью автоматических измерений с высокой производительностью. Для этой цели требуется автоматическое перемещение пластин.   MicroProf® MHU специально спроектирован для полупроводниковой, МЭМС- и LED-промышленности и позволяет беспроблемно подстраиваться под различные типы изделий (пластин). Узел загрузки позволяет работать с пластинами от 2 до 12 дюймов. В зависимости от конфигурации может обрабатывать одновременно до 4-х кассет.  

Контакт

Title

Двусторонние измерения (TTV)

Как настольные, так и стационарные системы серии MicroProf® включают опцию двустороннего контроля.  Это позволяет одновременное измерение верхней и нижней сторон образца и определение его толщины.  Также возможно определять полный разброс по толщине (TTV) образца одновременно с параметрами поверхностей, например, шероховатостью, волнистостью, плоскостностью обеих сторон. При необходимости приборы серии MicroProf® можно впоследствии легко дооснастить опцией TTV на месте.