Отличительные особенности MicroProf® MHU
- автозагрузчик с двуруким роботом
- высокая производительность, до 200 пластин в час
- загрузочная станция для открытых кассет
- оптический считыватель / предпозиционер
- функция сортировки «плохой-хороший»
- интерфейс SECS/GEM (опция)
microprof® MHU
Для многих промышленных применений необходимо проведение полностью автоматических измерений с высокой производительностью. Для этой цели требуется автоматическое перемещение пластин. MicroProf® MHU специально спроектирован для полупроводниковой, МЭМС- и LED-промышленности и позволяет беспроблемно подстраиваться под различные типы изделий (пластин). Узел загрузки позволяет работать с пластинами от 2 до 12 дюймов. В зависимости от конфигурации может обрабатывать одновременно до 4-х кассет.
Двусторонние измерения (TTV)
Как настольные, так и стационарные системы серии MicroProf® включают опцию двустороннего контроля. Это позволяет одновременное измерение верхней и нижней сторон образца и определение его толщины. Также возможно определять полный разброс по толщине (TTV) образца одновременно с параметрами поверхностей, например, шероховатостью, волнистостью, плоскостностью обеих сторон. При необходимости приборы серии MicroProf® можно впоследствии легко дооснастить опцией TTV на месте.
