Для многих промышленных применений необходимо проведение полностью автоматических измерений с высокой производительностью. Для этой цели требуется автоматическое перемещение пластин. MicroProf® MHU специально спроектирован для полупроводниковой, МЭМС- и LED-промышленности и позволяет беспроблемно подстраиваться под различные типы изделий (пластин). Узел загрузки позволяет работать с пластинами от 2 до 12 дюймов. В зависимости от конфигурации может обрабатывать одновременно до 4-х кассет.